TM 101 E PV 101
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PIEZOVAC PV 101
Il PIEZOVAC PV 101 funziona con un sensore interno in silicio piezoresistivo in grado di misurare da 1200 a 0,1 mbar. Sotto l'influenza della pressione, un diaframma sottile viene piegato e sul retro viene applicato un ponte resistivo. La flessione costringe il ponte di misurazione a perdere la sintonia, che è una misura della pressione applicata.
THERMOVAC TM 101
Il THERMOVAC TM 101 combina un sensore di pressione piezoresistivo per l'intervallo di pressione superiore e un sensore Pirani per il campo di pressione inferiore, le misurazioni effettuate da questo manometro portatile sono indipendenti dal tipo di gas al di sopra delle pressioni di 15 mbar (11,25 Torr). È in grado di misurare pressioni nell'intervallo di pressione compreso tra 1200 e 5 x 10-4 mbar (da 900 a 3,75 x 10-4 Torr).
