Trasportatore SPS
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Riduci al minimo il costo totale di proprietà per la protezione di wafer e pannelli con un unico ingresso di campionamento a pressione; ideale per processi ad alta pressione come Diffusion, Epitaxy e RTP
Fornisce il livello più basso di rilevamento di perdite d'aria e contaminazioni per processi costanti ad alta pressione Integrazione
semplificata della fabbrica e interdizione affidabile attraverso potenti capacità di acquisizione e sincronizzazione dei dati
Migliora le capacità di produzione uniche con l'ottimizzazione personalizzata delle ricette Protegge le esigenze di processo critiche con una risposta immediata in loco da parte di esperti
