Trasportatore CPM 3
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Analizzatore di gas residuo per ALD, Etch, CVD e DEGAS da 300 mm: consente il monitoraggio e l'analisi dei processi in tempo reale
ALD-Ready con velocità di misurazione di 1,8 ms per punto (555 punti al secondo) Durata e affidabilità
comprovate sul campo nelle applicazioni CVD ed Etch più esigenti Integrazione delle applicazioni—Transpector CPM diventa un potente strumento di monitoraggio e diagnostica dei processi se integrato con il software FabGuard e supportato dagli esperti di
applicazioni di livello mondiale INFICON Compact dimensione: consente una facile integrazione nella produzione
apparecchiatura a semiconduttore
Hexblock™ con un massimo di tre ingressi di pressione e una superficie ridotta per ridurre al minimo le reazioni superficiali e i tempi di risposta
Capacitance Diaphragm Gauge (CDG) —CDG consente all'utente di monitorare la pressione di processo e proteggere automaticamente il sistema dalle escursioni di pressione La calibrazione
automatizzata garantisce la stabilità e la precisione dei dati a lungo termine per la corrispondenza tra sensore e sensore e tra utensile e camera utensile
