Inficon Transpector APX ALD a pressione singola Italia

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Piattaforma specifica per l'applicazione per una maggiore durata del processo ALD o CVD per la migliore protezione di wafer e pannelli e ottimizzazione del processo
ALD Ready con velocità di misurazione di oltre 550 punti dati al secondo
Riduzione dell'ingombro della fabbrica del 30% e installazione semplificata grazie al sistema di pompaggio ad alte prestazioni Ingresso a
temperatura controllata con rivestimento proprietario INFICON per ingresso di pressione discreto in grado di resistere a sostanze chimiche corrosive aggressive La calibrazione automatica garantisce affidabilità e precisione dei dati a lungo termine per il sensore sensore e
abbinamento tra strumento e camera utensile
Transpector APX diventa un potente strumento di monitoraggio e diagnostica dei processi se integrato con il software FabGuard® e supportato da esperti di applicazioni di livello mondiale INFICON

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